新一代的平面抛光机采用动压浮动

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       新一代的平面抛光机采用动压浮动               

       平面研磨机是海德研磨所研发的精密设备之一，海德的新一代的平面抛光是一种非接触性的抛光抛光设备，主要是在抛光的装置上进行平面与斜面之间的抛光，当工件进行旋转的时候，会产生动压力，将上面保持架中的工件浮起，抛光液中的磨粒磨料会对工件进行抛光加工。
        　　由于平面抛光机中抛光盘会从内圆端至外圆端斜面与平面分割一定比例，在不同的工件半径处，进行的相对速度也不同，故浮力所分布的外圆端的加工量会比较大，内圆端的加工量会比较小，使工件很难得到正确的平面精度。
        　　他们会从内圆向着外圆连续发生变化，会获得工件表面均一的压力分布，动压浮力的抛光主要用于超精密抛光半导体的基片，各种结晶体以及玻璃基片，可以多片的同时进行加工，平面抛光进行工件表面加工，这种新工艺能够获得工件表面理想的加工精度效果。
       文章来源：http://www.shenzhenpaoguangji.com/html/631289118.html