激光干涉仪测量五轴机床旋转轴精度的方法

中图仪器

　激光干涉仪是集光、机、电、传感技术、信息技术于一体的经典“测控技术”仪器，是迄今公认的高精度、高灵敏度的测量仪器，可以直接对米进行定义，可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量，以及进行位移分析、速度分析、加速度分析、FFT分析等动态测量，广泛应用于先进制造、科研院所、精密测量等领域。

　　激光干涉仪最主要的应用之一就是机床精度检测，下面给大家介绍一下如何用SJ6000激光干涉仪检测五轴机床旋转轴精度。

　　机床旋转轴精度测量系统包含激光头，角度干涉镜和角度反射镜，与平移轴倾斜误差测量类似，只不过旋转轴的角度反射镜是安装在转台组件上，该组件可以绕中心自身旋转。因此，在测量时，待测的旋转轴向正方向旋转某一个角度后，转台组件会沿着其逆方向精确地旋转该角度，例如待测轴沿正方向旋转15°，由于误差的存在，则可能旋转（15+ Δ）°；此时，转台组件会沿着逆方向精确旋转，即沿负方向精确旋转 15°，这样就使得角度干涉镜可以保持正对着激光头。而误差 Δ就是旋转轴的定位误差。

附录：SJ6000激光干涉仪旋转轴测量系统精度。

型号：WR50

角度测量范围：(0~360)°

测量精度：±1″

分辨力：0.1″

最高转速：10rpm

最高跟踪速度：2rpm

重量：1.9kg

高度：148mm

直径：112mm

通信方式：蓝牙传输

供电方式：锂电池。