特气系统知识分享|特种气体存放及使用

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特气系统知识分享|特种气体存放及使用

特种气体(Specialty gas )主要有 SiH4、PH3、B2H6、A8H3、CL、HCL、CF4、NH3POCL3、SIH2CL2、 SIHCL3、NH3、BCL3、SIF4、CLF3、CO、C2F6、N2O、F2、HF、HBR、SF6……等等大部分是腐蚀性、毒性、燃烧性的气体。下面由沃飞科技为大家简单的介绍一下特种气体的存放及使用。

针对腐蚀性、毒性、燃烧性的气体，通常设计将钢瓶置于特气柜(Gas Cabinet)内，再通过管道将气体供应至现场附近的阀门箱(VMB, Valve Manifold Box)，而后再进入制程机台的使用点(POU, Point of Use)，于进入机台腔体之前，会有独立的气体控制盘(GB, Gas Box)与制程控制模块联机，以质流流量计控制器(MFC, Mass Flow Controller)进行流量之控制与进气的混合比例控制，通常此气体控制盘不属于厂务系统的设计范畴，而是归属制程机台设备的一部份。一般的惰性气体则是以开放式的气瓶架(Gas Rack)与阀门盘(VMP, Valve Manifold Panel)进行供应。

特气系统

以上就是沃飞科技为大家简单的介绍关于特种气体存放及使用，希望能给大家提供参考。沃飞科技是一家专业从事气体应用系统工程：电子特气系统、实验室气路系统、工业集中供气系统、大宗气体（液体）系统、高纯气体及特种工艺气体二次配管系统、化学品输送系统、纯水系统提供从技术咨询、整体规划、系统设计、选定设备、预制组件、项目现场安装建设、整体系统检测等全套工程技术服务和配套产品管道工程配套设备气体配比器，气体减压器，特气柜、VMB阀门箱、隔膜阀、波纹管阀、不锈钢阀门、卡套接头、VCR接头、不锈钢管、高压软管、阻火器、止回阀、精密过滤器、仪器仪表、气体报警器、气体分析仪、气体纯化器等销售于一体的高新技术企业； 荣获“国家高新技术企业”认定并取得证书。