半导体材料氮氧化物酸洗废气处理工艺与方案有哪些-丰绿环保

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半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料。半导体材料氮氧化物酸洗过程中产生的污染气体一氧化二氮、一氧化氮、二氧化氮、三氧化二氮、四氧化二氮、HF等。这些气体对人体和环境有很大的危害，必须进行处理达标后才能排放，那么半导体材料氮氧化物酸洗废气处理工艺与方案有哪些，下面丰绿环保为大家进行介绍。   

处理半导体材料氮氧化物酸洗废气工艺如下：NOx废气的治理方法大致可以分为燃烧控制技术、炉内喷射吸收剂以及烟气脱硝技术等，按脱硝装置所处位置可分为生产过程中控制和过程后处理。   

工业废气中NOx的脱除技术一般采用过程后处理，又可分为干法和湿法两大类。 干法包括催化还原法、催化分解法、吸附法等。湿法包括碱吸收、还原吸收、氧化吸收和络合吸收等。与干法相比，湿法具有工艺设备简单、操作费用低廉、吸收剂种类多、适应性强等优点。从吸收液的成本考虑，可采用碱液吸收，其产生副产物NaNO2和NaNO3可以回收利用。   

碱液吸收法：碱性溶液指的是钠、钾、镁等离子的氢氧化物或弱酸盐溶液。碱液吸收法不但可将NOx去除，所得亚硝酸盐产物还可用作防腐剂、防冻剂等，具有一定的市场价值。    由于本项目废气处理量较大，且浓度较高，结合甲方要求，本项目采用三级喷淋填料塔对废气进行处理，每个塔采用二级喷淋，循环喷淋溶液均为NaOH和Na2S的混合液。   

其中一级塔NaOH浓度控制在4%-8%左右（主要是为了去除废气中的硝酸、氢氟酸），Na2S浓度控制在2%左右，二级塔NaOH浓度控制在2%左右，Na2S浓度控制在2%左右，三级塔NaOH浓度控制在2%左右，Na2S浓度控制在2%左右。具体配碱浓度还要依据实际运行情况不断调整以到达最优运行条件，液气比越大，空塔速度越低，净化效率就越高。   

废气经管道收集后进入废气处理系统，废气经管道进入一级喷淋填料塔进行处理，其主要作用是利用碱性溶液吸收HF酸性气体、硝酸气体和部分NO2气体，其中Na2S起到还原作用，提高脱氮效率，之后废气再经过二、三级喷淋填料塔处理，之后废气通过风机、排气筒达标排放。此工艺不仅处理效率高，能高效去除污染物，而且运行维护费用低。   

以上就是丰绿环保废气处理厂家为大家介绍的有关半导体材料氮氧化物酸洗废气处理工艺与方案有哪些的分析，希望可以给大家提供参考。

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