硅烷特气管道控制系统设计应该注意哪些因素
硅烷特气柜的控制系统设计应该注意哪些因素硅烷在高科技种应用越来越广泛，硅烷有什么作用，硅烷控制系统设计有哪些要求?这里将进行介绍。硅烷之所以在高科技中被广泛应用并且越来越重要, 首先是与它的特性有关，同时也与现代高技术的特殊需求有关。通过热分解或与其它气体的化学反应，
硅烷的作用
1、可由硅烷制得单晶硅、多晶硅、非晶硅、金属硅化物、氮化硅、碳化硅、氧化硅等一系列含硅物质。
2、利用硅烷可以实现zui高的纯度、zui精细(可达原子尺寸)的控制和最灵活多变的化学反应。从而将各种含硅材料按各种需要制成复杂精细的结构, 这正是现代具有各种特异功能的材料和器件所要求的基本条件。
硅烷特气柜控制系统设计规范
1、硅烷由于其极其危险性，整套系统应该设置独立的惰性气体钢瓶进行吹扫，不得采用管道氮气吹扫;
2、应该配备惰性吹扫装置、气体泄露侦测器、火焰探测器等;
3、硅烷系统的排气管不得接入排风系统;
4、排气管应采用惰性气体连续吹扫，吹扫气体流速不得小于0.3m/s
5、排气的硅烷浓度较高时，应采用燃烧式尾气处理装置处理后排入大气。
关于特气管道安装
特气管道安装一般采用充氩气加热处理而成，EP管采用电解研磨方式加工而成。其内、外表面极其光亮。洁净管道的焊接除了要达到常规工业管道对焊缝的要求外，还要求焊接时管内、外表面不受污染，焊缝内、外表面必须与母材光亮度基本一致。
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